基板处理装置以及基板处理方法

By introducing multiple processing unit groups and dedicated handling units into the substrate processing apparatus, the handling path of the virtual substrate is optimized, solving the problem of the virtual substrate interfering with the handling of the finished substrate, and improving production efficiency and productivity.

CN117083703BActive Publication Date: 2026-07-17SCREEN HOLDINGS CO LTD
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Patent Information

Authority / Receiving Office
CN · China
Patent Type
Patents(China)
Current Assignee / Owner
SCREEN HOLDINGS CO LTD
Filing Date
2022-02-17
Publication Date
2026-07-17

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Abstract

基板处理装置包含：载体保持部，其保持载体；第一处理单元组；第二处理单元组；第一虚拟基板收容部；第二虚拟基板收容部；基板载置部；第一搬运单元，其在第一处理单元与基板载置部之间搬运基板，并在第一处理单元与第一虚拟基板收容部之间搬运虚拟基板；第二搬运单元，其在第二处理单元与基板载置部之间搬运基板，并在第二处理单元与第二虚拟基板收容部之间搬运虚拟基板；第三搬运单元，其在载体与基板载置部之间搬运基板；存储部，其存储包含第一状态和第二状态的数据，该第一状态表示第一处理单元组的状态，该第二状态表示第二处理单元组的状态；行程制作部，其制作搬运行程；搬运控制部，其按照搬运行程来控制第一搬运单元、第二搬运单元和第三搬运单元所进行的搬运。
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