一种大规模机器数据的查询方法、系统、设备和存储介质

By creating structured storage files in the ion implanter and filtering data based on timestamps, the problem of low efficiency in large-scale real-time data querying is solved, achieving efficient data storage and fast querying, and improving the stability and capacity of the ion implanter.

CN120029985BActive Publication Date: 2026-07-17AION (SHANDONG) SEMICONDUCTOR TECHNOLOGY CO LTD
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Patent Information

Authority / Receiving Office
CN · China
Patent Type
Patents(China)
Current Assignee / Owner
AION (SHANDONG) SEMICONDUCTOR TECHNOLOGY CO LTD
Filing Date
2025-02-17
Publication Date
2026-07-17

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Abstract

本发明涉及电数据处理技术领域，具体为一种大规模机器数据的查询方法、系统、设备和存储介质；为解决现有方法中数据量大时读取效率低的问题，本发明方法在离子注入机实时运行产生机器数据的过程中，依次创建由结构1中内容包括文件指针位置，结构2中内容包括行数据字节数、结构3中内容包括若干个种类机器数据字符串，结构4中内容包括若干个行数据组成的存储文件，并在数据查询过程中，对存储文件和行数据进行过滤，得到若干个待查询行数据；最后根据目标种类数据在待查询文件的结构3中的位置，获取目标查询数据；该方法应用在离子注入机大规模机器数据查询方面，能够提高效率，减少耗时，提高软件稳定性，减少离子注入机产能损失。
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