一种基于玻璃基体的精准尺寸感应式测量仪器

Abstract

本发明涉及高精度光学检测技术领域，具体而言，涉及一种基于玻璃基体的精准尺寸感应式测量仪器，用于检测望远镜反射镜阵列中的相邻两镜片之间的相对位置，包括：目标载体，所述目标载体上设有被测目标物；传感器载体，所述传感器载体上设有用于检测所述被测目标物位置的传感元件；固定组件，用于将所述目标载体固定在其中一块所述镜片的背面；和 / 或用于将所述传感器载体固定在相邻的另一块所述镜片的背面；所述固定组件与所述目标载体和 / 或所述传感器载体之间设有高度调节组件。本发明通过在固定组件与目标载体或传感器载体之间设置高度调节组件，解决了因实际装配中相邻镜片间高度差波动远超传感器自身亚纳米级测量行程所引发的适配性问题。

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