用于电子设备的半导体制造监控系统图形用户界面

CN310096291SActive Publication Date: 2026-07-17JIANGSU PENGJU SEMICON EQUIP TECH CO LTD

Patent Information

Authority / Receiving Office
CN · China
Patent Type
Designs(China)
Current Assignee / Owner
JIANGSU PENGJU SEMICON EQUIP TECH CO LTD
Filing Date
2025-08-25
Publication Date
2026-07-17

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Abstract

1.本外观设计产品的名称:用于电子设备的半导体制造监控系统图形用户界面。2.本外观设计产品的用途:一种电子设备。3.本外观设计产品的设计要点:在于图形用户界面的内容。4.最能表明设计要点的图片或照片:主视图。5.图形用户界面的用途:用于HF气相刻蚀机的操作管理,主要包含:主界面、配方、抽真空、破真空、手动等界面。设备根据配方设置的参数配方进行工作,主要的运行界面为主视图。6.图形用户界面的变化状态说明:主视图为系统主界面,点击左侧抽真空即可跳转到界面变化状态图1;界面变化状态图1为抽真空界面,点击左侧破真空即可跳转到界面变化状态图2;界面变化状态图2为破真空界面,点击左侧手动即可跳转到界面变化状态图3;界面变化状态图3为手动界面,点击上方蓝色TM即可跳转到界面变化状态图4;界面变化状态图4点击下方配方即可跳转到界面变化状态图5;界面变化状态图5为配方界面。
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