HIGH-PERFORMANCE, LOW-POWER CONSUMPTION ELECTROACOUSTIC TRANSDUCER

Description

" T R A S D U TT O R E E L E TT R O A C U S T I C O A D A L T E P R E S T A Z I O N I E B A SS O C O N S U M O " DESCRIZIONE C a m p o t e c n i c o L a p r e s e n t e i n v e n z i o n e è r e l a t i v a a u n t r a s d u tt o r e e l e tt r o a c u s t i c o a d a l t e p r e s t a z i o n i e b a ss o c o n s u m o . C o n t e s t o C o m e è n o t o , g l i u t i l i zz a t o r i d e ll a g r a n d e m a gg i o r a n z a 10 d i d i s p o s i t i v i d i e l a b o r a z i o n e e c o m u n i c a z i o n e m o b i l i e f i ss i , c o m e s m a r t p h o n e s , tablet, c a l c o l a t o r i p o r t a t i l i e d a s c r i v a n i a , t r a gg o n o b e n e f i c i o d a ll’ i m p i e g o d i c u ffi e e a u r i c o l a r i , c h e s o n o o r m a i e s t r e m a m e n t e d i ffu s i . Q u e s t a d i ff u s i o n e , i n s i e m e a l f a tto c h e i n molti c a s i cuffi e e a u r i c o l a r i s o n o i n d o ss a t i i n i n t e rr o tt a m e n t e p e r l u n g h i p e r i o d i d i t e m p o , p o r t a con s é l ’ e s i g e n z a d i r e a l i zz a r e d i s p o s i t i v i c o m o d i e p r a t i c i , s e n z a p e r ò r i n u n c i a r e a lla q u a l i t à d e lla r i p r o d u z i o n e a u d i o . C’è quindi una s p i n t a i m p o r t a n t e v e r s o l a f a bb r i c a z i o n e d i t r a s d u tt o r i 20 e l e tt r o a c u s t i c i , c o m e a l t o p a r l a n t i e m i c r o f o n i , m i n i a t u r i zz a t i . A l t r i t r a s d u tt o r i e l e tt r o a c u s t i c i m i n i a t u r i zz a t i v e r s o i q u a l i c ’ é u n c r e s c e n t e i n t e r e ss e s o n o i m p i e g a t i p e r e s e m p i o n e ll e s o n d e p e r i n d a g i n i e c o g r a f i c h e e 1 n g e n e r a l e n e ll ’ i m a g i n g a w u l t r a s u o n i ( P i e z o e l e c t r i c M i c r o m a c h i n e d U l t r a s o n i c T r a n s d u c e r , P M U T ) . n L e s o l u z i o n i a l m o m e n t o d i s p o n i b i l i n o n s o n o p e r ò de l t u tt o s o dd i s f a c e n t i e n o n r a pp r e s e n t a n o u n v a l i d o c o m p r o m e ss o f r a d i m e n s i o n i , p r e s t a z i o n i i n t e r m i n i d i a l t o l i v e ll o d i p r e ss i o n e s o n ora ( S o u n d P r e ss u r e L e v e l , SPL - p e r i t r a s m e tt i t o r i ) o s e n s i b i l i t a ( p e r i r i c e v i t o r i ) , c o n s u m i e c o s t i . U n p r i m o t i p o d i t r a s d u tt o r e e l e tt r o a c u s t i c o , i n p a r t i c o l a r e u n a l t o p a r l a n t e , s f r u tta l a t r a d i z i o n a l e a tt u a z i o n e e l e tt r o m a g n e t i c a e d è i n grado d i a ss i c u r a r e 10 e l e v a t a q u a l i t a d i r i p r o d u z i o n e . G l i a l t o p a r l a n t i a d a tt u a z i o n e e l e tt r o m a g n e t i c a n o n s o n o p e r d a d a tt i a essere m i n i a t u r i zz a t i o l t r e u n c e r t o l i m i t e . A l t r e s o l u z i o n i b a s a t e s u lla t e c n o l o g i a M E M S ( M i c r o - E l e c t r o - M e c h a n i c a l - S y s t e m s ) p e r m e tt o n o d i o tte n e r e m i g l i o r i l i v e ll i d i m i n i a t u r i zz a z i o n e , m a 1 c o s t i e / o l e p r e s t a z i o n i n o n s o n o a n c o r a a d e g u a t i e t a l i d a s o s t i t u i r e g l i a l t o p a r l a n t i e l e tt r o d i n a m i c i . P e r e s e m p i o , s o n o n o t i d i s p o s i t i v i i b r i d i i n c u i u n a tt u a t o r e m i c r o e l e tt r o m e cc a n i c o , spesso d i tipo 20 p i e z o e l e tt r i c o , è a cc o pp i a t o a una m e m b r a n a p o l i m e r i c a , c h e v i e n e p o s t a i n v i b r a z i o n e . L a m e m b r a n a p o l i m e r i c a h a i l v a n t a gg i o d i u n ’ e l e v a t a c e d e v o l e zz a ( b a sso m o d u l o d i Y o u n g ) , c h e c o n s e n t e u n a b u o n a r i s p o s t a , m a p r e s e n t a c r i t i c i t a dal p u n t o d i v i s t a d e l p r o c e sso e dei c o s t i . I n f a tt i , l a m e m b r a n a v i e n e a pp l i c a t a a lla p o r z i o n e d e l d i s p o s i t i v o c h e o s p i t a n l ’ a tt u a t o r e s o l o i n f a s e d i b a c k - e n d , oss ia i n fasi d i l a v o r a z i o n e d e d i c a t e , s u cc e ss i v e a lla f a bb r i c a z i o n e d e ll ’ a tt u a t o r e s t e ss o . I n o l t r e , i m i c r o - a l t o p a r l a n t i i b r i d i n o n s i p r e s t a n o a e ss e re a ss e m b l a t i s u schede m e d i a n t e t e c n i c a S M T ( S u r f a c e M o u n t T e c h n o l o g y ) , p e r c h é l a m e m b r a n a n o n è i n g r a d o d i s o pp o r t a r e l e t e m p e r a t u r e d i s a l d a t u r a . A l t r i d i s p o s i t i v i r e a l i zz a t i t o t a l m e n t e i n t e c n o l o g i a M E M S s o dd i s f a n o i r e q u i s i s t i d i m i n i a t u r i zza z i o n e e c o s t o , m a n o n r a gg i u n g o n o p r e s t a z i o n i s u ffi c i e n t i p e r d i n a m i c a e 10 b a n d a d e lla r i s p o s t a . I n p a r t i c o l a r e , a l c u n i m i c r o - a l t o p a r l a n t i c o m p r e n d o n o u n a m e m b r a n a s e m i c o n d u ttr i c e c o lle g a t a a una c o r n i c e d i s u pp o r t o l u n g o i l p r o p r i o p e r i m e t r o . L a c r i t i c i t à d i questi d i s p o s i t i v i r i s i e d e p r i n c i p a l m e n t e nell a s c a r s a c e d e v o l e zz a d e ll a m e m b r a n a . P e r o tt e n e r e u n l i v e llo a d e g u a t o d i p r e ss i o n e a c u s t i c a , i n f a tt i , l a r i d u z i o n e d i a r e a d e ll a m e m b r a n a d o v u t a a ll a m i n i a t u r i zz a z i o n e d o v r e bbe essere c o m p e n s a t a d a una m a gg i o r e e s c u r s i o n e ( l a p r e ss i o n e a c u s t i c a è i n f a tti p r o p o r z i o n a l e a l p r o d o tt o A * d * f , d o v e A è l’area d e ll a 20 m e m b r a n a , d è l ’ e s c u r s i o n e e f l a f r e q u e n z a ) . L a r i g i d e zz a d e l m a t e r i a l e s e m i c o n d u tto r e n o n c o n s e n t e p e r ò u n ’ e s c u r s i o n e s u ff i c i e n t e , s p e c i a l m e n t e a lle b a ss e f r e q u e n z e . I n a l t r i m i c r o - a l t o p a r l a n t i M E M S , l a m e m b r a n a è d i s c o n t i n u a n e ll a p o r z i o n e interna p r o p r i o p e r a v e r e una m a gg i o r c e d e v o l e zz a e c o n s e n t i r e u n ’ e s c u r s i o n e p i u a m p i a . n P i ù c h e u n a v e r a e p r o p r i a m e m b r a n a , i l t r a s d u tt o r e c o m p r e n d e u n a p l u r a l i t à d i s t r u tt u r e a s b a l z o , c i a s c u n a d e ll e q u a l i d e f i n i s c e u n o s p i cc h i o d i u n p o l i g o n o o u n s e tt o r e d i u n c e r c h i o e s i e s t e n d e d a una c o r n i c e d i s u ppo r t o . I vertici d e g l i s p i cc h i o s e tt o r i s o n o a d i a c e n t i g l i u n i a g l i a l t r i a l c e n t r o d e l t r a s d u tt o r e , s e n z a p e r d essere u n i t i . E c o s l p o ss i b i l e o tt e n e r e u n a d i n a m i c a d i r i s p o s t a p i ù a m p i a , c h e p e r d n o n è c o s t a n t e s u ll a b a n d a a u d i o . U n d i s a lli n e a m e n t o i n d i r e z i o n e f u o r i p i a n o d e ll e s t r u tt u r e a s b a l z o , anco ra una 10 v o l t a s o p r a tt u tt o a lle b a ss e f r e q u e n z e e a lla r i s o n a n z a , p u d i n f a tt i p o r t a r e a d a v e r e p a ssa ggl f l u i d i c i d i l a r g h e zz a n o n c o n t r o ll a t a f r a s e tt o r i a d i a c e n t i , i n t r o d u c e n d o degli s f i a t i n e ll a m e m b r a n a c h e p o ss o n o c o m p r o m e tt e r e l e p r e s t a z i o n i . I n o l t r e , l a q u a l i t a d e ll a r i s p o s t a dei m i c r o - a l t o p a r l a n t i M E M S d i q u e s t o t i p o è m o l t o i n f l u e n z a t a d a ll e v a r i a z i o n i d i p r o c e ss o , p o i c h é a n c h e p i cc o l e d i ff e r e n z e d e ll e s t r u ttu r e a s b a l z o p o ss o n o c a u s a r e mo v i m e n t i n o n u n i f o r m i e d i ss i mm e t r i e n e ll ’ e m i ss i o n e s o n o r a i m p a tt a n d o s u lla d i s t o r s i o n e a r m o n i c a t o t a l e ( T o t a l H a r m o n i c D i s t o r s i o n , THD). 20 S e m p r e a llo s c o p o d i a u m e n t a r e l a m a ss i m a e s c u r s i o n e , s o n o s t a t i p r o p o s t i m i c r o - a l t o p a r l a n t i M E M S con a ttu a t o r i piece tt recurrentlydistinguishedto move the memberindirection i or pp observes tt or an incunoid rest configuration excitation sounds In particular , an actor peripheral cover tt piece is arranged along the first tro n of the PP force membrane that tend to deform it membranainunaprimadir etion ; a self-centered ttu rich piece is arranged centrally on the membrane a pp forces trying not to deform the membrane n a secondary direction opposite to primary direction In dispositivinotidiques to type, you tt had, the increment of the excursion is unlimited by the fact that the membrane is therefore more rigid perpotera the central tt uator is the source of the nne ssi oniele tr iche 10 In addition , the orbital power of the triangle depends , besides the frequency voltage action, as well as the capacity of the actors themselves. These ultimate duties should instead be minimum losses. the orbital power increases the autonomy of the devices , sound supply system requested On the other hand , the area of ​​the country is not to be laughed at beyond certain limit, because it is strengthened pp licatada each to reduce the consequence , limiting the excursion is made by the membrane 20 S or two mm And therefore he presented the invention of the rnireun transduce tt ears tt acousticperme tta superarea at least tt enuarelimitationide written tt e If the secondary presentation is provided trasdu tt ears tt roacousticodefinit one lla n n r i v e n d i c a z i o n e 1 . B r e v e d e s c r i z i o n e d e ll e f i g u r e P e r u n a m i g l i o r e c o m p r e n s i o n e d e ll a p r e s e n t e i n v e n z i o n e v e n g o n o p r e s e n t a t e f o r m e p r e f e r i t e d i r e a l i zz a z i o n e , a t i t o l o d i e s e m p i o n o n l i m i t a t i v o , con r i f e r i m e n t o a i disegni a ll e g a t i , n e i q u a l i : - l a f i g u r a 1 è u n o schema a blocc hi s e m p l i f i c a t o d i u n d i s p o s i t i v o e l a b o r a z i o n e e c o m u n i c a z i o n e ; - l a f i g u r a 2 è u na v i s t a i n p i a n t a d a ll ’ a l t o d i u n 10 t r a s d u tt o r e e l e tt r o a c u s t i c o i n a cc o r d o a una f o r m a d i r e a l i zz a z i o n e d e lla p r e s e n t e i n v e n z i o n e i n c o r p o r a t o n e l d i s p o s i t i v o d i f i g u r a 1 ; - l a f i g u r a 3 m o s t r a i l t r a s d u tt o r e e l e ttr o a c u s t i c o d i f i g u r a 2 c o n p a r t i a s p o r t a t e p e r c h i a r e zz a ; - l a f i g u r a 4 m o s t r a u n p a r t i c o l a r e i n g r a n d i t o del t r a s d u tt o r e e l e tt r o a c u s t i c o d i f i g u r a 2 ; - l a f i g u r a 5 a è u n a s e z i o n e t r a s v e r s a l e a tt r a v e r s o i l t r a s d u tt o r e e l e tt r o a c u s tico d i f i g u r a 2 i n una p r i m a c o n f i g u r a z i o n e o p e r a t i v a ; 20 - l a f i g u r a 5 b è u n a v i s t a p r o s p e tt i c a d i una p o r z i o n e d e l d i s p o s i t i v o d i f i g u r a 2 n e ll a p r i m a c o n f i g u r a z i o n e o p e r a t i v a ; - l a f i g u r a 6 a è u n a s e z i o n e t r a s v e r s a l e a tt r a v e r s o i l transduced tt ears tt acousticFigure 2 in one second from setupoperations goes ; n - Figure 6 b is a prospective view of a portion of the deviceFigure 2 in the second configuration and operational ; - Figure 7 is a simplified cross-section a tt reverse translation tt ear ttr oacousticFigure 2 , rectangular section V II - V II figure 2 ; - Figure 8 is a simplified cross-section a tt reverse translation tt ear ttr oacousticFigure 2 , rectangular section V III - V III figure 2 ; 10 - l a f i g u r a 9 m o s t r a u n a l t r o p a r t i c o l a r e i n g r a n d i t o d e l t r a s d u tt o r e e l e tt r o a c u s t i c o d i f i g u r a 2 ; - l a f i g u r a 1 0 m o s t r a u n u l t e r i o r e p a r t i c o l a r e i n g r a n d i t o d e l t r a s d u tt o r e e l e ttr o a c u s t i c o d i f i g u r a 2 ; - l a f i g u r a 11 è u na v i s t a i n p i a n t a d a ll ’ a l t o d i u n t r a s d u tt o r e e l e tt r o a c u s t i c o i n a cc o r d o a una d i v e r s a f o r m a d i r e a l i zz a z i o n e d e lla p r e s e n t e i n v e n z i o n e u t i l i zza b i l e n e l d i s p o s i t i v o d i f i g u r a 1 ; - l a f i g u r a 1 2 a è u na s e z i o n e t r a s v e r s a l e a tt r a v e r s o i l t r a s d u tt o r e e l e tt r o a c u s t i c o d i f i g u r a 11 i n una p r i m a 20 c o n f i g u r a z i o n e o p e r a t i v a ; - l a f i g u r a 1 2 b è u na s e z i o n e t r a s v e r s a l e a tt r a v e r s o i l t r a s d u tt o r e e l e tt r o a c u s t i c o d i f i g u r a 11 i n una seco nda c o n f i g u r a z i o n e o p e r a t i v a . D e s c r i z i o n e d i f o r m e d i r e a l i zz a z i o n e L a d e s c r i z i o n e c h e s e g u e s i r i f e r i s c e a lla disposizi one n m o s t r a t a n e i d i s e g n i ; d i c o n s e g u e n z a , e s p r e ssi o n i co me " s o p r a " , " s o tt o " , " s u p e r i o r e " , " i n f e r i o r e ” , " i n a l t o " , " i n b a ss o " , " a d e s t r a " , " a s i n i s t r a " e s i m i l i s o n o r e l a t i v e a lle f i g u r e a ll e g a t e e n o n d e v o n o essere i n t e r p r e t a t e i n m o d o l i m i t a t i v o . Per comodità, nel seguito si farà riferimento a t r a s d u tt o r i e l e tt r o a c u s t i c i u t i l i zz a t i i n m i c r o - a l t o p a r l a n t e . C i ò n o n è t u tta v i a d a i n t e n d e r e i n sen so l i m i t a t i v o . T r a s d u tt o r i e l e tt r o a c u s t i c i s e c o n d o l ’ i n v e n z i o n e 10 p o ss o n o e ss e r e i m p i e g a t i i n d i s p o s i t i v i d i v e r s i , sia r i c e v i t o r i , s i a t r a s m e tti t o r i , tra c u i m i c r o f o n i e s o n d e e c o g r a f i c h e , e , i n g e n e r a l e , n e l s e tt o r e d e ll ’ i m a g i n g a u l t r a s u o n i ( P M U T , P i e z o e l e c t r i c M i c r o m a c h i n e d U l t r a s o n i c T r a n s d u c e r s ) . I n o l t r e , q u i e n e l s e g u i t o con i l termine t r a s d u tt o r e s i i n t e n d e i n d i c a r e g e n e r i c a m e n t e u n d i s p o s i t i v o che trasforma u n a p r i m a grande zza f i s i c a ( o f o r m a d i e n e r g i a ) i n u n a c o rr i s p o n d e n t e ( d i v e r s a ) s e c o n d a dgrandez f i s i c a ( o f o r m a d i e n e r g i a ) o v i c e v e r s a . I n a l c u n i c a s i , e v e n t u a l m e n t e , 20 u n t r a s d u tt o r e p u d e ss e r e u t i l i zz a t o i n m o d o b i d i r e z i o n a l e p e r t r a s f o r m a r e l a p r i m a grandez f i s i c a nell a seco nda g r andezza f i s i c a o l a s e c o n d a g r a n d e zza f i s i c a nell a p r i m a gr a n d e zza f i s i c a , s e c o n d o l e c o n d i z i o n i o p e r a t i v e . 1In p a r t i c o l a r e , s i i n t e n d e c h e u n t r a s d u tt o r e e l e ttr o a c u s t i c o is onedevicethattrasf now one acoustic wave n with the respondent signaling the rich, vice versa, transforming signals tt recognize prominent acoustic waves And eventually , behind the ears with an acoustics or being useful zz bidirectional atomic andwavetransform acoustics no rr responsive signaling tt rich , for transform and signal the three icons with protruding waves acoustic (for example in the lcuni ultrasonography active noise action headphones ) Furthermore , yes i n t e n d e c h e u n t r a s d u tt o r e p i e z o e l e tt r i c o t r a s f o r m a f o r z e o 10 p r e ss io ni a pp l i c a t e a f a cce del t r a s d u tt o r e stesso i n u n c o rr i s p o n d e n t e s e g n a l e e l e ttr i c o e u n s e g n a l e e l e ttr i c o i n c o rr i s p o n d e n t i f o r z e o p r e ssi o n i a pp l i c a t e d a f a cce del t r a s d u tt o r e . I t r a s d u tt o r i p i e z o e l e ttr i c i s o n o n o r m a l m e n t e u t i l i zza b i l i i n m o d o b i d i r e z i o n a l e . C o n r i f e r i m e n t o a lla f i g u r a 1 , u n s i s t e m a e l e tt r o n i c o i n d i c a t o n e l s u o c o m p l e ss o con i l n u m e r o 1 c o m p r e n d e u n d i s p o s i t i v o d i e l a b o r a z i o n e e c o m u n i c a z i o n e 2 a cc o pp i a t o i n c o m u n i c a z i o n e c o n u n m i c r o - a l t o p a r l a n t e 3 . I l d i s p o s i t i v o d i e l a b o r a z i o n e e c o m u n i c a z i o n e 2 p u ò 20 e ss e r e u n d q u a l s i a s i d i s p o s i t i v o p o r t a t i l e o f i sso ch e s u pp o r t a l a c o m u n i c a z i o n e a u d i o con una p e r i f e r i c a d i r i p r o d u z i o n e , c o m e i l m i c r o - a l t o p a r l a n t e 3 . I l d i s p o s i t i v o d i e l a b o r a z i o n e e c o m u n i c a z i o n e 2 p u d e ss e r e , n o n l i m i t a t i v a m e n t e , u n c a l c o l a t o r e p o r t a t i l e , u n p e r s o n a l c o m p u t e r , u n t a b l e t , uno s m a r t p h o n e o u n d i s p o s i t i v o n i n d o ss a b i l e , p e r e s e m p i o uno s m a r t w a t c h , e c o m p r e n d e , i n p a r t i c o l a r e , u n ’ u n i t à d i e l a b o r a z i o n e 5 e u n m o d u l o d i c o m u n i c a z i o n e 6 , a cc o pp i a t o con u n c o rri s p o n d e n t e m o d u l o d i c o m u n i c a z i o n e 8 d e l m i c r o - a l t o p a r l a n t e 3 . I l d i s p o s i t i v o d i e l a b o r a z i o n e e c o m u n i c a z i o n e 2 p u ò g e n e r a l m e n t e c o m p r e n d e r e u l t e r i o r i c o m p o n e n t i n o n i llu s t r a t i , c o m e u n ’ u n i t à d i v i s u a l i zz a z i o n e , u n i t à d i m e m o r i a , d i s p o s i t i v i d i i n s e r i m e n t o e p u n t a m e n t o , p e r i f e r i c h e , una b a tte r i a , interfacce di I / O. 10 I l m i c r o - a l t o p a r l a n t e 3 c o m p r e n d e oltre a l m o d u l o d i c o m u n i c a z i o n e 8 , u n t r a s d u tt o r e e l e ttr o a c u s t i c o 1 0 e uno s t a d i o d i p i l o t a gg i o ( “ d r i v e r ” ) 11. L o stadio d i p i l o t a gg i o 11 r i c e v e s e g n a l i a u d i o a tt r a v e r s o i l m o d u l o d i c o m u n i c a z i o n e 8 e a tt u a 11 t r a s d u tt o r e e l e ttr o a c u s t i c o 1 0 . I m o d u l i d i c o m u n i c a z i o n e 6 , 8 del d i s p o s i t i v o d i e l a b o r a z i o n e e c o m u n i c a z i o n e 2 e del m i c r o - a l t o p a r l a n t e 3 p o ss o n o e ss e r e m u t u a m e n t e a cc o pp i a t i m e d i a n t e una c o nn e ss i o n e w i r e l e ss o v i a c a v o . C o n r i f e r i m e n t o a lle f i g u r e 2 - 8 , i l t r a s d u tt o r e 20 e l e tt r o a c u s t i c o 1 0 è u n t r a s d u tt o r e m i c r o e l e tt r o m e cc a n i c o d i t i p o p iezoelettrico a m e m b r a n a e c o m p r e n d e una c o r n i c e d i s u pp o r t o 1 2 , u n a m e m b r a n a 1 3 , e u n t r a s d u tt o r e p i e z o e l e tt r i c o , i n p a r t i c o l a r e u n a tt u a t o r e p i e z o e l e tt r i c o 15. L a c o r n i c e d i s u pp o r t o 1 2 è d i m a t e r i a l e s e m i c o n d u tt o r e n e p r e s e n t a u n a c a v i t à 1 6 ( f i g u r e 5 a , 5 b , 6 a , 6 b , 7 , 8 ) aperta s u u n l a t o e c h i u s a s u l l a t o opp osto d a ll a m e m b r a n a 1 3 . P i ù p r e c i s a m e n t e , l a c o r n i c e d i s u pp o r t o 1 2 p u ò c o m p r e n d e r e u n s u b s t r a t o , p e r e s e m p i o d i s i l i c i o m o n o c r i s t a lli n o 1 2 a , uno s t r a t o d i e l e ttr i c o 1 2 b e uno o p i ù s t r a t i s t r u ttu r a l i 12c c h e p o ss o n o includere s t r a t i e p i t a ssi a l i , sempre d i s i l i c i o m o n o c r i s t a ll i n o , o s t r a t i d i s i l i c i o p o l i c r i s t a lli n o c r e s c i u t i d a s e m e i n r e a tto r e e p i t a ss i a l e o s t r a t i d e p o s t i . L a m e m b r a n a 1 3 , a n c h ’ e ss a d i m a t e r i a l e semicondutt ore , 10 p e r e s e m p i o s i l i c i o p o l i c r i s t a lli n o i n c o n t i n u i t a c o n i l p i ù e s t e r n o d e g l i s t r a t i s t r u ttu r a l i d e ll a c o r n i c e d i s u pp o r t o 1 2 , è c o ll e g a t a a ll a c o r n i c e d i s u pp o r t o 1 2 stessa l u n g o i l p r o p r i o p e r i m e t r o . L a m e m b r a n a 1 3 p u d a v e r e s p e ss o r e c o m p r e s o per esempio fra 3 pu m e 25 p u m. In una forma di realizzazione, l a m e m b r a n a 1 3 è p o l i g o n a l e e h a s i mm e t r i a r o t a z i o n a l e d i o r d i n e N r i s p e tt o a u n a sse p e r p e n d i c o l a r e a ll a m e m b r a n a e p a ss a n t e p e r 11 centro, con N i n t e r o . S i i n t e n d e c h e u n c o r p o è d o t a t o d i simmetria r o t a z i o n a l e d i o r d i n e N r i s p e tt o a u n a ss e q u a n d o i l c o r p o è i n v a r i a n t e p e r r o t a z i o n i d i 3 6 0 ° / N 20 a tt o r n o a ll ’ a ss e . P e r e s e m p i o , l a m e m b r a n a 1 3 p u d a v e r e l a f o r m a d i u n o tt a g o n o r e g o l a r e . I n o l t r e , una s i mme t r i a r o t a z i o n a l e d i o r d i n e N pari p u d essere v a n t a gg i o s a i n t e r m i n i d i b i l a n c i a m e n t o degli s f o r z i ( p e r e s e m p i o , p e r l a d i s p o s i z i o n e d i c o nn e ss i o n i f a s u lle o “ d u mmy ” , c o m e s p i e g a t o in dettaglio più avanti). n C o n r i f e r i m e n t o i n p a r t i c o l a r e a lla f i g u r a 3 , c h e p e r clear displayonlyframes on p ortho 1 2 membrane 1 3 , membrane 1 3 is connected to the door frame along its perimeter through the middle of the stici L a member 13 is subdivided into a plurality of sectors 13a, bounded by radial clefts 1 8 chesiestendonoin radial directions for the vertices of the membrane inwards , up to a distance from the center of the membrane 1 3 same a. In a formal zz action , the 10 radial cracks 1 8 have either the same width Furthermore , the width of the radial slits 1 8 is small d u e v o l t e u n o s p e ss o r e d i uno strato limite v i s c o s o d e ll ’ a r i a , i n p a r t i c o l a r e i n u n i n t e r v a ll o o p e r a t i v o d i t e m p e r a t u r a c o m p r e s o p e r e s e m p i o f r a - 2 0 ° C e + 4 0 ° C . I n u n a f o r m a d i r e a l i zz a z i o n e , l a l a r g h e zz a è m i n o r e d e ll o s p e ss o r e d e ll o s t r a t o l i mite v i s c o s o d e ll’ a r i a e d è c o m u n q u e n o n s u p e r i o r e a 1 0 u m , p e r e s e m p i o 5 u m . I n o l t r e , u n r a pp o r t o f r a l a l a r g h e zz a e u n o s p e ss o r e d e ll a m e m b r a n a 1 3 è n o n s u p e r i o r e a 1 . 20 N e lla m e m b r a n a 13, l e f e n d i t u r e r a d i a l i 1 8 d e f i n i s c o n o a l e tt e ( “ t a b s ” ) 1 3 b , u n a p e r ciascun s e tto r e 1 3 a . L e alette 1 3 b s o n o a cc o pp i a t e a lla c o r n i c e d i s u pp o r t o 1 2 m e d i a n t e r i s p e tt i v i e l e m e n t i e l a s t i c i 1 7 e s o n o c o ll e g a t e f r a l o r o d a u n a p o r z i o n e c e n t r a l e 13c c o n t i n u a d e ll a m e m b r a n a 13, r a d i a l m e n t e i n t e r n a r i s p e tt o a lle f e n d i t u r e r a d i a l i 1 8 . n N e ll ’ e s e m p i o d e ll e f i g u r e 2 - 8 , c i a s c u n a aletta 13b è a cc o pp i a t a a lla c o r n i c e d i s u pp o r t o 1 2 m e d i a n t e una coppia d i r i s p e tti v i e l e m e n t i e l a s t i c i 1 7 , d i s p o s t i s i mme t r i c a m e n t e l ’ u n o a ll ’ a l t r o r i s p e tt o a u n a sse A c h e s i e s t e n d e l u n g o u n a b i s e ttr i c e d e l r i s p e tt i v o s e tto r e 1 3 a . L a d i s p o s i z i o n e of elastic elements 1 7 is the same each if tt hour 1 3 has the membrane 1 3 epercomfortable to follow referring to the elastic elements only one of the seven ri 1 3 a , understanding that how many writings tt or more people 10 them . S intendeinoltrechelad positionalform elastic elements can be different from the describe tt and Inparticular reference to enlargement Figure 4 , each elastic element with 1 7 is formatted divided by the membrane 1 3 and includes another day e s t e r n o 1 7 a , u n a n c o r a gg i o i n t e r n o 1 7 b , b r a cci e s t e r n i 17c e b r a cc i i n t e r n i 1 7 d . L ’ a n c o r a ggi o e s t e r n o l 7 a e l ’ a n c o r a ggi o i n t e r n o 1 7 b s o n o f i ss a t i rispett ivamente a u n r i s p e tt i v o l a t o de l c o r p o d i s u pp o r t o 1 2 d e l i m i t a n t e l a cavità 1 6 e 20 a ll ’ a l e tt a 1 3 e d e l r i s p e tti v o s e tt o r e 13c d e ll a m e m b r a n a 1 3 l u n g o l ’ a ss e A . I b r a cc i e s t e r n i 17c e i b r a cci i n t e r n i 17d s o n o f r a l o r o paralleli e s o n o c o ll e g a t i f r a l o r o , a ll’ a n c o r a gg i o e s t e r n o l 7 a e a ll’ a n c o r a ggi o i n t e r n o 17b i n m o d o d a f o r m a r e u n ’ a s o l a . P i ù i n d e tt a g l i o , i b r a cci e s t e r n i 17c s l e s t e n d o n o p e r p e n d i c o l a r i a ll ’ a ss e A i n d i r e z i o n i opp oste n d a ll ’ a n c o r a gg i o e s t e r n o 1 7 a f i n o a lle f e n d i t u r e r a d i a l i 1 8 c h e d e l i m i t a n o 11 r i s p e tt i v o s e tt o r e 1 3 c . A n a l o g a m e n t e , 1 b r a cc i i n t e r n i 1 7 d s i e s t e n d o n o p e r p e n d i c o l a r i a ll ’ a ss e A i n d i r e zioni o pp o s t e d a ll’ a n c o r a ggi o i n t e r n o 17b f i n o a lle f e n d i t u r e r a d i a l i 1 8 c h e d e l i m i t a n o i l r i s p e tt i v o se tt ore 1 3 c . I b r a cc i e s t e r n i 1 7 c e i b r a cci i n t e r n i 17d s o n o u n i t i f r a l o r o a lle r i s p e tt i v e e s t r e m i t a d i s t a l i , r e l a t i v a m e n t e a ll ’ a n c o r a gg i o e s t e r n o 1 7 a e a ll’ a n c o r a ggi o i n t e r n o 1 7 b . L u n g o l ’ a ss e A , g l i e l e m e n t i e l a s t i c i 1 7 s o n o d i v i s i d a 10 u n a f e n d i t u r a d i s e p a r a z i o n e 1 9 c h e s i e s t e n d e i n d i r e z i o n e r a d i a l e d a ll ’ a l e tta 1 3 b a l c o r p o d i s u pp o r t o 1 2 . F e n d i t u r e t r a s v e r s a l i 2 0 ( s i w v e d a n o a n c h e 1 l e f i g u r e 9 e 1 0 ) , p e r p e n d i c o l a r i a ll ’ a ss e A , d e l i m i t a n o i b r a cci e s t e r n i 17c e 1 b r a cc i i n t e r n i 1 7 d e 11 s e p a r a n o dal r i s p e tt i v o l a t o del c o r p o d i s u pp o r t o 1 2 e d a ll ’ a l e tt a 1 3 e del r i s p e tt i v o s e tto r e 1 3 c d e ll a m e m b r a n a 1 3 . Come m o s t r a t o n e g l i i n g r a n d i m e n t i d e ll e f i g u r e 9 e 1 0 , l e e s t r e m i t a d e ll e f e n d i t u r e t r a s v e r s a l i 2 0 s o n o a ll a r g a t e e a rr o t o n d a t e p e r e v i t a r e l a c o n c e n t r a z i o n e d i l i n ee d i f o r z a e p r e v e n i r e l ’ i nne s c o d i c r i cc h e . 20 I n d i r e z i o n e p e r p e n d i c o l a r e a lle f e n d i t u r e t r a s v e r s a l i 2 0 , i b r a cc i e s t e r n i 1 7 c e 1 b r a cci i n t e r n i 17d hann o una l a r g h e zza W 1 c o m p r e s a f r a 3 0 u m e 7 0 u m , p e r e s e m p i o 5 0 u m , e u n a l u n g h e zz a c o m p r e s a p e r e s e m p i o f r a 5 00 u m e 1 , 5 mm. L ’ a n c o r a gg i o e s t e r n o 1 7 a e 1 l ’ a n c o r a ggi o i n t e r n o 17b hann o u n a l a r g h e zz a W 2 c o m p r e s a f r a 7 0 u m e 1 5 0 u m , p e r esempio 1 00 n um . L ’ a tt u a t o r e p i e z o e l e tt r i c o 1 5 ( f i g u r a 2 ) è d i s p o s t o s u ll a p o r z i o n e c e n t r a l e 13b d e ll a m e m b r a n a 1 3 e , i n una f o r m a d i r e a l i zz a z i o n e , c o m p r e n d e l o b i 1 5 a c h e s i e s t e n d o n o i n d i r e z i o n e r a d i a l e d a u n a r e g i o n e a n u l a r e d i a tt u a t o r e 1 5 b , c i a s c u n o s u ll ’ a l e tt a 1 3 e d i u n r i s p e tt i v o s e tto r e 13a d e ll a m e m b r a n a 1 3 . L ’ a tt u a t o r e p i e z o e l e tt r i c o 1 5 h a l a s t e ssa s i mm e t r i a r o t a z i o n a l e d i o r d i n e N d e ll a m e m b r a n a 1 3 . L ’ a tt u a t o r e attuatore piezoelett rico 1 5 e l a m e m b r a n a 10 1 3 f o r m a n o u n a m e m b r a n a c o m p o s i t a i n c u i l o s t a t o d i s t r e ss r e s i d u o d e i materiali è s f r u tt a t o p e r o tt e n e r e una d e f o r m a z i o n e d e ll a m e m b r a n a stessa a r i p o s o , oss ia i n a ss e n z a d i s t i m o l i e l e tt r i c i a ll’ a tt u a t o r e p i e z o e l e ttr i c o 1 5 . Come d e s c r i tt o i n S e u n g - M o c k L ee , T s u n e h i s a T a n a k a , K o j i I n o u e “ R e s i d u a l S t r e ss a n d M e m b r a n e D e f l e c t i o n I n f l u e n c e s o n the U l t r a s o n i c S e n s o r D e v i c e ” , I EEE S e n s o r s 2 00 6 , EXCO, D a e g u , K o r e a , O c t o b e r 22- 2 , 2 00 6 , nell e m e m b r a n e c o m p o s i t e l e d i ff e r e n z e d i m a t e r i a l i e f a tto r i d i p r o c e sso i n d u c o n o s t r e ss r e s i d u i c h e t e n d o n o a c a u s a r e d e f o r m a z i o n i m e cca n i c h e . P e r 20 e s e m p i o , u n a m e m b r a n a c o m p o s i t a p u ò c o m p r e n d e r e una m e m b r a n a s e m i c o n d u tt r i c e e u n o s tack d i s t r a t i f o r m a n t i u n a tt u a t o r e p i e z o e l e tt r i c o , c o m e n e l c a s o del t r a s d u tt o r e e l e tt r o a c u s t i c o 10. L a m e m b r a n a s e m i c o n d u ttr i c e è i n g e n e r e s o gg e tt a a s f o r z i r e s i d u i d i c o m p r e ss i o n e , m e n t r e l o s t a t o d i s f o r z o r e s i d u o d e ll ’ a tt u a t o r e p i e z o e l e ttr i c o ( i n n p a r t i c o l a r e d e f i n i t o d a uno stack P t / P Z T / P t ) p u ò e ss e r e c o n t r o ll a t o i n m o d o d a essere del tipo d i t r a z i o n e o d i c o m p r e ss i o n e e d e t e r m i n a l a d e f l e ss i o n e d e ll a m e m b r a n a c o m p o s i t a . S e l o s t a t o d i s f o r z o r e s i d u o d e ll ’ a tt u a t o r e p i e z o e l e tt r i c o è d e l tipo d i c o m p r e ss i o n e , l a m e m b r a n a c o m p o s i t a p r e s e n t a u na d e f l e ss i o n e v e r s o i l l a t o d e ll ’ a tt u a t o r e p i e z o e l e ttr i c o , i n d i r e z i o n e o pp o s t a a lla c a v i t à s o tt o s t a n t e l a m e m b r a n a ; s e invece l o s t a t o d i sforzo r e s i d u o d e ll ’ a tt u a t o r e p i e z o e l e tt r i c o e del tipo d i 10 t r a z i o n e , l a m e m b r a n a c o m p o s i t a p r e s e n t a una d e f l e ss i o n e v e r s o i l l a t o d e lla m e m b r a n a s e m i c o n d u tt r i c e , i n d i r e z i o n e d e ll a c a v i t a s o tt o s t a n t e l a m e m b r a n a . N e ll a f o r m a d i r e a l i zz a z i o n e q u i d e s c r i tt a , i n p a r t i c o l a r e , 1 l o s t a t o d i s t r e ss r e s i d u o è del tipo d i c o m p r e ss i o n e e c a u s a una d e f l e ss i o n e d e ll a m e m b r a n a 1 3 r i s p e tt o a u n a c o n f i g u r a z i o n e p l a n a r e v e r s o 11 l a t o 13d d e ll ’ a tt u a t o r e p i e z o e l e ttr i c o 1 5 , i n m o d o c h e l a m e m b r a n a 1 3 a bb i a f o r m a a c u p o l a a p e r ta v e r s o l a cavita 1 6 ( c o m e m o s t r a t o n e ll e f i g u r e 5 a e 5 b ) i n c o n d i z i o n i d i r i p o s o , o ss i a i n 20 a ss e n z a d i s t i m o l i e l e tt r i c i a ll ’ a tt u a t o r e p i e z o e l e tt r i c o 1 5 ( d e f l e ss i o n e a r i p o s o ) . I n o l t r e , 1l’attuatore p i e z o e l e tt r i c o 1 5 è c o n f i g u r a t o p e r d e f o r m a r e l a m e m b r a n a 1 3 i n r i s p o s t a a u n s e g n a l e e l e tt r i c o d i p i l o t a gg i o V p , p e r e s e m p i o a pp l i c a t o d a ll o s t a d i o d i p i l o t a gg i o 11, i n m o d o d a c a u s a r e u n a d e f l e ss i o n e i n d o tt a d e ll a m e m b r a n a 1 3 o ppo s t a a lla n d e f l e ssi o n e a r i p o s o ( p e r e ffe tto d e ll o s t r e ss r e s i d u o del m a t e r i a l e ) , o ss i a v e r s o i l l a t o 1 3 e d e ll a m e m b r a n a 1 3 opp osto a ll ’ a tt u a t o r e piezoelett r ico 1 5 e a ff a cc i a t o a lla c a v i t a 1 6 ( f i g u r e 6 a e 6 b ) . I n p r a t i c a , i n r i s p o s t a a l s e g n a l e d i p i l o t a ggi o V p l a m e m b r a n a 1 3 a ssu m e f o r m a a c o ppa aperta i n d i r e z i o n e o pp o s t a a lla c avita 1 6 . P e r f o r n i r e i l s e g n a l e e l e tt r i c o d i p i l o t a gg i o V p , i l t r a s d u tt o r e e l e tt r o a c u s t i c o 1 0 c o m p r e n d e c o nne ssi o n i e l e tt r i c h e c h e c o rr o n o i n p a r t e s u lla m e m b r a n a 1 3 , i n c l u s i 10 a l m e n o a l c u n i d e g l i e l e m e n t i e l a s t i c i 1 7 . L a s t r u ttu r a d e ll ’ a tt u a t o r e p i e z o e l e tt r i c o 1 5 e d e ll e c o nne ssi o n i e l e tt r i c h e , o l t r e c h e d e ll a c o r n i c e d i s u pp o r t o 1 2 e d e ll a m e m b r a n a 1 3 , è m o s t r a t a i n d e tt a g l i o nell e s e z i o n i d e ll e f i g u r e 7 e 8, dove, per semplicita, la membrana 13 è i ll u s t r a t a i n u n a c o n f i g u r a z i o n e p l a n a r e c h e n o n c o rr i s p o n d e a ll a c o n f i g u r a z i o n e d i r i p o s o , i n a sse n z a d i s t i m o l i e l e tt r i c i a ll ’ a tt u a t o r e p i e z o e l e tt r i c o 1 5 . U n o strat o d i e l e ttr i c o 2 1 , p e r e s e m p i o o ssi d o d i s i l i c i o , è f o r m a t o s u l p i ù e s t e r n o d e g l i s t r a t i s t r u ttu r a l i 12c e c o p r e l a s t r u tt u r a 20 a c o r n i c e 1 2 e p o r z i o n i d e ll a m e m b r a n a 1 3 c o rri s p o n d e n t i a ll ’ a tt u a t o r e p i e z o e l e tt r i c o 1 5 . L ’ a tt u a t o r e p i l e z o e l e tt r i c o 1 5 è f o r m a t o d a u n o s t ack p i e z o e l e tt r i c o c o m p r e n d e n t e una s t r u tt u r a d i m e t a lli zza z i o n e i n f e r i o r e , p e r e s e m p i o c o n t e n e n t e u n o s t r a t o d i p l a t i n o , uno strato d i m a t e r i a l e p i e z o e l e tt r i c o , p e r e s e m p i o P Z T , s u lla s t r u tt u r a d i n m e t a ll i zz a z i o n e i n f e r i o r e , e una s t r u tt u r a d i m e t a ll i zz a z i o n e s u p e r i o r e , p e r e s e m p i o c o n t e n e n t e a n c h ’ e ssa u n o s t r a t o d i p l a t i n o , s u llo strato d i m a t e r i a l e p i e z o e l e tt r i c o . I n p a r t i c o l a r e , l ’ a tt u a t o r e piezoele tt rico 1 5 c o m p r e n d e u n e l e tt r o d o i n f e r i o r e 1 5 c ¢ , f o r m a t o d a ll a s t r u tt u r a d i m e t a ll i zz a zione i n f e r i o r e e d i s p o s t o sull o s t r a t o d i e l e tt r i c o 2 1 ; u n c o r p o p i e z o e l e tt r i c o 1 5 d , f o r m a t o d a ll o s t r a t o p i e z o e l e tt r i c o e d i s p o s t o s u ll’ e l e ttr o d o i n f e r i o r e 1 5 c ; u n e l e ttr o d o s u p e r i o r e 1 5 e , f o r m a t o d a ll a 10 s t r u tt u r a d i m e t a ll i zz a z i o n e s u p e r i o r e e d i s p o s t o s u l c o r p o p i e z o e l e tt r i c o 1 5 d . U n a s t r u ttu r a d i p a ssi v a z i o n e 23 , p e r e s e m p i o c o m p r e n d e n t e u n o strato d i nitruro d i s i l i c i o e d e v e n t u a l m e n t e r i c o p e r t a d a uno o p i u s t r a t i e l e ttr i c a m e n t e i s o l a n t i , p r o t e gg e l a c o r n i c e d i s u pp o r t o 1 2 e l ’ a tt u a t o r e p i e z o e l e tt r i c o 1 5 . A l d i f u o r i d e ll’ a ttu a t o r e piezoe lett rico 1 5 , l a s u p e r f i c i e d e ll a m e m b r a n a 1 3 opp osta a ll a cav ita 1 6 è s o s t a n z i a l m e n t e l i b e r a . P i a zz o l e 2 5 , 2 7 s u lla c o r n i c e d i s u pp o r t o 1 2 ( f i g u r a 2 ) s o n o a cc e ss i b i l i p e r l a p o l a r i zza z i o n e r i s p e tti v a m e n t e 20 d e ll ’ e l e tt r o d o s u p e r i o r e 1 5 a e d e ll’ e l e ttr o d o c e n t r a l e i n f e r i o r e 1 5 c m e d i a n t e l i n e m e t a ll i c h e c h e c o rro n o s u l l a t o 1 3 a d e ll a m e m b r a n a 1 3 , i n d u c e n d o una d e f o r m a t a d e ll a stessa i n d i r e z i o n e o pp o s t a a lla cavita 1 6 . L a p i a zz o l a 2 5 è a cco pp i a t a a ll ’ e l e tt r o d o s u p e r i o r e 1 5 a a tt r a v e r s o u n a p r i m a l i n e a m e t a ll i c a e s p o s t a 3 0 , r e a l i zz a t a n i n u n m a t e r i a l e c o n d u tt i v o c h e è immune a ll’ o ssi d a z i o n e p e r e s p o s i z i o n e a ll ’ a t m o s f e r a e n o n r i c h i e d e p a ss i v a z i o n e , p e r e s e m p i o o r o o p l a t i n o . L a p r i m a l i n e a m e t a lli c a e s p o s t a 3 0 ( f i g u r a 7 ) s i e s t e n d e l u n g o u n p e r c o r s o a r b i t r a r i o s u lla s t r u tt u r a d i p a ss i v a z i o n e 2 3 a l d i s o p r a dell a c o r n i c e d i s u pp o r t o 1 2 d a ll a p i a zz o l a 2 5 a lla p e r i f e r i a d e ll a m e m b r a n a 1 3 , q u i n d i s u g l i e l e m e n t i e l a s t i c i 1 7 d i u n r i s p e tt i v o dei s e tt o r i 1 3 a d e ll a m e m b r a n a 1 3 e d a q u i i n d i r e z i o n e r a d i a l e l u n g o l a b i s e ttr i c e d e ll o stesso s e tto r e 1 3 a f i n o a l 10 c o rr i s p o n d e n t e l o b o 1 5 a d e ll ’ a tt u a t o r e p i e z o e l e tt r i c o 1 5 . U n ’ e s t r e m i t à r a d i a l m e n t e i n t e r n a d e ll a p r i m a l i n e a m e t a ll i c a e s p o s t a 3 0 è s o v r a pp o s t a a u n m a r g i n e del l o b o 1 5 a e d e l e tt r i c a m e n t e a cc o pp i a t a a d e sso d a una i n t e r c o nne ss i o n e 3 1 , p e r e s e m p i o d i r a m e , a ll u m i n i o o una l o r o l e g a a tt r a v e r s o l a s t r u tt u r a d i p a ss i v a z i o n e 2 3 . I n p a r t i c o l a r e , l a p r i m a l i n e a m e t a ll i c a e s p o s t a 3 0 s i e s t e n d e i n m o d o s i mm e t r i c o s u i b r a cc i e s t e r n i l 7 c e s u i b r a cci i n t e r n i 17d d i e n t r a m b i g l i e l e m e n t i e l a s t i c i 1 7 del r i s p e tt i v o s e tto r e 1 3 a d e ll a m e m b r a n a 1 3 . I n u n a f o r m a d i r e a l i zz a z i o n e , l a p r i m a l i n e a 20 m e t a ll i c a e s p o s t a 3 0 è f o r m a t a d i r e tta m e n t e s u lla m e m b r a n a 1 3 , d o v e l i b e r a d a ll ’ a ttu a t o r e p i e z o e l e tt r i c o 1 5 , e s u g l i e l e m e n t i e l a s t i c i 1 7 . L a p r i m a l i n e a m e t a ll i c a e s p o s t a 3 0 h a u n a l a r g h e zz a W 3 m i n o r e d e ll a l a r g h e zz a W 1 l dei b r a cc i e s t e r n i l 7 c e d e i b r a cc i i n t e r n i 1 7 d , i n una f o r m a d i r e a l i zz a z i o n e n o n s u p e r i o r e a m e t à d e lla l a r g h e zz a W l e p e r esempi o pari n a 20 um . L a p i a zz o l a 2 7 ( f i g u r a 8 ) è a cc o pp i a t a a ll ’ e l e tt r o d o i n f e r i o r e 1 5 c a tt r a v e r s o una s e c o n d a l i n e a m e t a ll i c a e s p o s t a , c h e s i e s t e n d e s u llo strato d i e l e tt r i c o 2 1 e d è i n c o r p o r a t a n e ll a s t r u tt u r a d i p a ssi v a z i o n e 2 3 e a tt r a v e r s o u n a s e c o n d a l i n e a m e t a ll i c a e s p o s t a 3 5 c h e s i estende l u n g o u n p e r c o r s o a r b i t r a r i o s u lla s t r u tt u r a d i p a ssi v a z i o n e 2 3 a l d i s o p r a d e ll a c o r n i c e d i s u pp o r t o 1 2 d a ll a p i a zzo l a 2 5 a lla p e r i f e r i a d e ll a m e m b r a n a 1 3 , quindi s u g l i e l e m e n t i e l a s t i c i 10 1 7 d i u n r i s p e tt i v o d e i s e tto r i 1 3 a d e ll a m e m b r a n a 1 3 , d i v e r s o d a l s e tt o r e 1 3 a a ll o gg i a n t e l a p r i m a l i n e a m e t a ll i c a e s p o s t a 3 0 , e d a q u i i n d i r e z i o n e r a d i a l e l u n g o l a b i s e tt r i c e d e ll o s t e ss o s e tt o r e 1 3 a f i n o a l c o rri s p o n d e n t e l o b o 1 5 a d e ll ’ a tt u a t o r e p i e z o e l e tt r i c o 1 5 . I n una f o r m a d i r e a l i zz a z i o n e n o n l i m i t a t i v a , 11 s e tto r e 1 3 a a ll o gg i a n t e l a s e c o n d a l i n e a m e t a ll i c a e s p o s t a 3 5 & o r i e n t a t o a 9 0 ° r i s p e tt o a l s e tt o r e 1 3 a a ll o gg i a n t e l a p r i m a l i n e a m e t a ll i c a e s p o s t a 3 0 . L a s e c o n d a l i n e a m e t a ll i c a e s p o s t a 3 5 h a e s t r e m i t a s o v r a pp o s t e a u n ’ e s t e n s i o n e d e ll ’ e l e tt r o d o i n f e r i o r e 15c e 20 a d e ss e a cc o pp l a t e e l e tt r i c a m e n t e m e d i a n t e i n t e r c o nn e ssi o n i 3 6 a tt r a v e r s o l a s t r u tt u r a d i p a ssi v a z i o n e 2 3 . L a s e c o n d a l i n e a m e t a ll i c a e s p o s t a 3 5 è f a tta d e ll o stesso m a t e r i a l e d i c u i è f a tt a l a p r i m a l i n e a m e t a ll i c a e s p o s t a 3 0 e h a l a s t e ss a f o r m a , a m e n o d i una r o t a z i o n e d i 9 0 ° . I n u n a f o r m a d i r e a l i zz a z i o n e , l i n ee m e t a ll i c h e f a s u lle n ( “ d u mm y ” ) 3 6 s o n o f o r m a t e s u s e tto r i 13c dell a m e m b r a n a 1 3 o pp o s t i r i s p e tt o a q u elli a llo ggi a n t i l a p r i m a linea m e t a ll i c a e s p o s t a 3 0 e l a s e c o n d a l i n e a m e t a ll i c a es posta 3 5 . L e l i n ee m e t a ll i c h e f a s u lle 3 6 s i e s t e n d o n o s u g l i e l e m e n t i d i c o nn e ss i o n e 1 7 e l u n g o l e b i s e tt r i c i d e i r i s p e tt i v i s e tt o r i 1 3 b d e ll a m e m b r a n a 1 3 f i n o i n p r o ss i m i t à d e i r i s p e tti v i l o b i 1 5 a d e ll ’ a tt u a t o r e p i e z o e l e tt r i c o 1 5 , s o n o f a tt e d e ll o s t e ss o m a t e r i a l e e hann o l a stessa f o r m a d e ll a p r i m a l i n e a m e t a ll i c a e s p o s t a 3 0 e d e ll a s e c o n d a l i n e a 10 m e t a ll i c a e s p o s t a 3 5 . L e l i n ee m e t a ll i c h e f a s u lle 3 6 s o n o d i s a cc o pp i a t e d a ll ’ a tt u a t o r e p i e z o e l e tt r i c o 1 5 , sono f l o tt a n t i e h a nn o l a s o l a f u n z i o n e d i e q u i l i b r a r e m e cc a n i c a m e n t e g l i s f o r z i a pp l i c a t i a lla m e m b r a n a 1 3 d a ll a p r i m a l i n e a m e t a ll i c a e s p o s t a 3 0 e d a ll a s e c o n d a lin ea m e t a ll i c a e s p o s t a 3 5 . S ì i n t e n d e c h e l a d i s p o s i z i o n e e l a f o r m a g e o m e t r i c a d e ll a p r i m a l i n e a m e t a ll i c a e s p o s t a 3 0 , d e ll a s e c o n d a l i n e a m e t a ll i c a e s p o s t a 3 5 e d e ll e e v e n t u a l i l i n ee m e t a ll i c h e f a s u ll e 3 6 p o ss o n o t u tt a v i a essere d i ff e r e n t i d a q u a n t o f i n 20 q u i d e s c r i tt o . I n u n a f o r m a d i r e a l i zz a z i o n e n o n m o s t r a t a , p e r e s e m p i o , l a s e c o n d a l i n e a m e t a ll i c a e s p o s t a è opp osta a lla p r i m a l i n e a m e t a ll i c a e s p o s t a e n o n s o n o p r e s e n t i l i n ee m e t a ll i c h e f a s u ll e . I n u n ’ a l t r a f o r m a d i r e a l i zz a z i o n e n o n m o s t r a t a , lin ee n m e t a ll i c h e f a s u ll e s o n o p r e s e n t i i n t u tti i s e tto r i 13c ( f i g u r a 3 ) d e lla m e m b r a n a 1 3 n o n o cc u p a t i d a ll a p r i m a l i n e a m e t a ll i c a e s p o s t a e d a ll a s e c o n d a l i n e a m e t a ll i c a e s p o s t a . N e ll ’ e s e m p i o s o p r a d e s c r i tt o , l e l i n ee m e t a ll i c h e ch e with the square 2 6 , 2 7 , so the comelelin and do the 3 6 present , are exposed private dressing ss ivantee , generale , diqualsiasi in dressing. This is possible because such meta - liche lines sound immune to oxidase per 10 exposure to the atmosphere of this clothing is particularly because of the effects on the deformability ll of the membrane 1 3 and of the elastic elements 1 7 sound minimums , in fact , completely overlooked T u tt air , u n r i v e s t i m e n t o p a ssi v a n t e e / o u n a l t r o r i v e s t i m e n t o p o t r e bb e r o c o m u n g u e e ssere p r e s e n t i i n a cco r d o a lle p r e f e r e n z e d i p r o g e tt o , p e r e s e m p i o s e l a d e f o r m a b i l i t a d e ll a m e m b r a n a e d e g l i e l e m e n t i e l a s t i c i è u g u a l m e n t e c o n s i d e r a t a s o dd i s f a c e n t e . I n q u e s t o c a s o , l e l i n ee m e t a ll i c h e n o n s a r e bb e r o d i r e tt a m e n t e e s p o s t e a ll ’ a t m o s f e r a . 20 C o n r i f e r i m e n t o a lla f i g u r a 11, u n t r a s d u tt o r e e l e tt r o a c u s t i c o 11 0 c o m p r e n d e una c o r n i c e d i s u pp o r t o 112 , u n a m e m pbrana 11 3 e u n t r a s d u tt o r e p i l e z o e l e tt r i c o , i n p a r t i c o l a r e u n a tt u a t o r e p i e z o e l e tt r i c o 115 . L a m e m b r a n a 11 3 , p e r e s e m p i o d i s i l i c i o p o l i c r i s t a lli n o , h a f o r m a d i u n p o l i g o n o r e g o l a r e c o n s i mme t r i a r o t a z i o n a l e d i o r d i n e N , p e r n e s e m p i o u n e s a g o n o , e d è c o ll e g a t a a lla c o r n i c e d i s u pp o r t o 11 2 l u n g o i l p r o p r i o p e r i m e t r o m e d i a n t e e l e m e n t i e l a s t i c i 117. La membrana 113 è suddivisa in una pluralità di settori 11 3 a , d e l i m i t a t i d a f e n d i t u r e r a d i a l i 118 c h e s i e s t e n d o n o i n d i r e z i o n e r a d i a l e d a r i s p e tt i v i vertici dell a m e m b r a n a 11 3 v e r s o l ’ i n t e r n o , f i n o a una d i s t a n z a d a l centro d e ll a membrane 11 3 same a. In each sector 113 of the membrane 11 3 , the radial clefts 118 define the fins 11 3b the cornice on the porch 112 through the interview 10 elementelastic 117 . More precisely , each 11 3 b is connected to the cornice on door 112 by means of a pluralityof elastic poisons 11 7 , therefore , electrically arranged with respect to each other bise tt receive respect tt ivose tt ore 11 3 a Each item elastic 11 7 includes an external gear 11 7 a , fixed a ll a c o r n i c e d i s u pp o r t o 112 , u n a n c o r a gg i o i n t e r n o 11 7b f i ss a t o a ll’ a l e tt a 113 b , b r a cci e s t e r n i 11 7c e b r a cc i i n t e r n i 11 7 d . L’impiego d i p i ù e l e m e n t i e l a s t i c i 11 7 i n ciascun s e tt o r e 113 a c o n s e n t e d i a ss i c u r a r e u n ’ a d e g u a t a m o b i l i t a 20 d e ll a m e m b r a n a 113 , e v i t a n d o c h e g l i e l e m e n t i e l a s t i c i 11 7 r i s u l t i n o i n d e b o l i t i a c a u s a d e ll e d i m e n s i o n i a lla p e r i f e r i a d e ll e a l e tt e 113 a . L ’ a tt u a t o r e p i e z o e l e tt r i c o 115 è d i s p o s t o s u una p o r z i o n e c e n t r a l e d e lla m e m b r a n a 113 e c o m p r e n d e l o b i 115 a c h e s i e s t e n d o n o i n d i r e z i o n e r a d i a l e d a una r e g i o n e a n u l a r e n d i a tt u a t o r e 11 5 b , c i a s c u n o s u ll ’ a l e tt a 11 3b d i u n r i s p e tt i v o s e tt o r e 113 a d e ll a m e m b r a n a 113 . L ’ a tt u a t o r e piezoel ett rico 11 5 h a l a struttura d e ll’ a tt u a t o r e p i e z o e l e tt r i c o 1 5 gia d e s c r i tt o , c o n u n e l e tt r o d o i n f e r i o r e , u n c o r p o p i e z o e l e tt r i c o e u n e l e ttr o d o s u p e r i o r e e n o n è i ll u s t r a t o n e l d e tt a g l i o . I n o l t r e , a n c h e i n q u e s t o c a s o , l o s t a t o d i s t r e ss r e s i d u o d e ll ’ a tt u at o r e p i e z o e l e tt r i c o 115 c a u s a una d e f l e ss i o n e d e ll a m e m b r a n a 11 3 v e r s o i l l a t o 11 3d d e ll ’ a tt u a t o r e p i e z o e l e tt r i c o 115 s t e ss o , i n m o d o ch e 1 l a 10 m e m b r a n a 11 3 a bb i a f o r m a a cupola aperta v e r s o l a c a v i t a 116 ( c o m e m o s t r a t o i n f i g u r a 1 2 a ) i n c o n d i z i o n i d i r i p o s o , oss ia i n a ss e n z a d i s t i m o l i e l e tt r i c i a ll ’ a tt u a t o r e p i l e z o e l e tt r i c o 11 5 . I n o l t r e , 1 l ’ a tt u a t o r e p i e z o e l e tt r i c o 115 è c o n f i g u r a t o p e r d e f o r m a r e l a m e m b r a n a 113 i n r i s p o s t a a u n segna le e l e tt r i c o d i p i l o t a gg i o V p , p e r e s e m p i o a pp l i c a t o d a ll o s t a d i o d i p i l o t a gg i o 11, i n m o d o d a c a u s a r e una d e f l e ss i o n e d e ll a m e m b r a n a 11 3 o pp o s ta a lla d e f l e ss i o n e a r i p o s o , v e r s o i l l a t o 113 e d e lla m e m b r a n a 113 opp osto a ll ’ a tt u a t o r e p i e z o e l e tt r i c o 11 5 e a ff a cc i a t o a lla cavita 116 ( f i g u r a 1 2 b ) . 20 P i a zz o l e 1 2 5 , 1 2 7 s u lla c o r n i c e d i s u pp o r t o 112 s o n o a cc e ss i b i l i p e r l a p o l a r i zz a z i o n e d e ll’ e l e ttr o d o s u p e r i o r e e d e ll ’ e l e tt r o d o i n f e r i o r e d e ll ’ a tt u a t o r e p i e z o e l e tt r i c o 115 ( q u i n o n m o s t r a t i i n d e tta g l i o ) . L e p i a zzo l e 1 2 5 , 1 2 7 s o n o a cc o pp i a t e a ll ’ a tt u a t o r e p i e z o e l e tt r i c o 115 rispett ivamente a tt r a v e r s o u n a p r i m a l i n e a m e t a ll i c a e s p o s t a 1 3 0 e una n s e c o n d a l i n e a m e t a ll i c a e s p o s t a 1 3 5 , e n t r a m b e r e a l i zz a t e i n u n m a t e r i a l e c o n d u tt i v o c h e è immune a ll’ o ssi d a z i o n e p e r e s p o s i z i o n e a ll ’ a t m o s f e r a e n o n r i c h i e d e p a ss i v a z i o n e , p e r e s e m p i o o r o o p l a t i n o . L a p r i m a l i n e a m e t a ll i c a e s p o s t a 1 3 0 s i e s t e n d e l u n g o u n p e r c o r s o a r b i t r a r i o d a ll a p i a zzo l a 1 2 5 a ll a p e r i f e r i a d e ll a m e m b r a n a 113 , s u u n p r i m o d e g l i e l e m e n t i e l a s t i c i 11 7 d i u n o d e i s e tto r i 113 a e d a q u i s u ll ’ a l e tt a 11 3 b d e llo s t e ss o s e tt o r e 11 3 a . L a l i n e a m e t a ll i c a e s p o s t a 1 3 0 h a u n ’ e s t r e m i t à r a d i a l m e n t e i n t e r n a a cc o pp i a t a 10 a ll ’ e l e tt r o d o s u p e r i o r e d e ll ’ a tt u a t o r e p i e z o e l e tt r i c o 115 a u n m a r g i n e d e l c o rr i s p o nd e n t e l o b o 11 5 a . L a s e c o n d a l i n e a m e t a ll i c a e s p o s t a 1 3 5 s i e s t e n d e l u n g o u n p e r c o r s o a r b i t r a r i o d a ll a p i a zz o l a 1 2 7 a lla p e r i f e r i a d e ll a m e m b r a n a 113 , s u u n s e c o n d o d e g l i e l e m e n t i e l a s t i c i 11 7 d e ll o stesso s e tt o r e 11 3 a d e lla m e m b r a n a 11 3 a ll o gg i a n t e a n c h e l a p r i m a l i n e a m e t a ll i c a e s p o s t a 1 3 0 e d a q u i s u ll ’ a l e tt a 11 3b d e ll o stesso s e tt o r e 113 a . L a s e c o n d a l i n e a m e t a ll i c a e s p o s t a 1 3 5 h a u n ’ e s t r e m i t à r a d i a l m e n t e i n t e r n a a cc o pp i a t a a ll ’ e l e tt r o d o s u p e r i o r e d e ll ’ a tt u a t o r e p i e z o e l e tt r i c o 115 a u n m a r g i n e del 20 l o b o 11 5 a . L i n ee m e t a ll i c h e f a s u lle 1 3 6 s o n o f o r m a t e s u s e tto r i 11 3 a d e lla m e m b r a n a 11 3 o pp o s t i r i s p e tt o a quelli a ll o ggi a n t i l a p r i m a l i n e a m e t a ll i c a e s p o s t a 1 3 0 e l a s e c o n d a l i n e a m e t a ll i c a e s p o s t a 1 3 5 . L e l i n ee m e t a ll i c h e f a s u lle 1 3 6 s i e s t e n d o n o s u r i s p e tti v i e l e m e n t i d i c o nn e ss i o n e 11 7 e n s u ll ’ a l e tt a 11 3 b d e l s e tto r e 113 a d e ll a m e m b r a n a 11 3 a ll o gg i a n t e l a p r i m a l i n e a m e t a ll i c a e s p o s t a 1 3 0 e l a s e c o n d a l i n e a m e t a ll i c a e s p o s t a 1 3 5 , f i n o i n p r o ss i m i t a del c o rr i s p o n d e n t e l o b o 115 a d e ll ’ a tt u a t o r e p i e z o e l e tt r i c o 115 , s o n o f a tt e d e ll o s t e ss o m a t e r i a l e e hann o l a stessa f o r m a d e ll a p r i m a l i n e a m e t a ll i c a e s p o s t a 1 3 0 e d e ll a seconda l i n e a m e t a ll i c a e s p o s t a 1 3 5 . L e l i n ee m e t a ll i c h e f a s u lle 1 3 6 s o n o d i s a cc o pp i a t e d a ll ’ a tt u a t o r e p i e z o e l e tt r i c o 115 , son o f l o tt a n t i e h a nn o l a s o l a f u n z i o n e d i e q u i l i b r a r e 10 m e cc a n i c a m e n t e g l i s f o r z i a pp l i c a t i a lla m e m b r a n a 11 3 d a ll a p r i m a l i n e a m e t a ll i c a e s p o s t a 1 3 0 e d a ll a s e c o n d a l i n e a m e t a ll i c a e s p o s t a 1 3 5 . C o m e s o p r a d e s c r i tt o , i l t r a s d u tt o r e p i e z o e l e tt r i c o è i n g r a d o d i p r o d u rr e una d e f l e ss i o n e a riposo e una d e f l e ssi o n e i n d o tt a r i s p e tti v a m e n t e i n a ss e n z a d i s t i m o l i e l e tt r i c i e i n r i s p o s t a a u n s e g n a l e d i p i l o t a ggi o . I n a l t r e p a r o l e , i l t r a s d u tt o r e e l e ttr o a c u s t i c o s e c o n d o l ’ i n v e n z i o n e p e r m e tt e d i s f r u tt a r e u n ’ a m p i a d i n a m i c a d e ll a m e m b r a n a u t i l i zz a n d o u n s i n g o l o a tt u a t o r e p i e z o e l e ttr i c o . C’è quindi 20 u n d u p l i c e v a n t a ggi o : d a u n l a t o , i l l i v e llo d i p r e ss i o n e s o n o r a c h e s i p u d o tt e n e r e è s o dd i s f a c e n t e e c o n f r o n t a b i l e c o n q u e ll o d i t r a s d u tto r i e l e tt r o a c u s t i c i dotati d i a tt u a t o r i p i e z o e l e tt r i c i d i s t i n t i p e r m u o v e r e l a m e m b r a n a i n direzioni o pp o s t e . D a ll ’ a l t r o , p r o p r i o 1 ’ i m p i e g o d i u n s i n g o l o a tt u a t o r e p i e z o e l e tt r i c o d i r i d o tta a r e a n s u p e r f i c i a l e d i m i n u i s c e s e n s i b i l m e n t e l a c a p a c i t à a ss o c i a t a e , d i c o n s e g u e n z a , i c o n s u m i . A s u a v o l t a , l a r i d u z i o n e dei c o n s u m i s i p u ò t r a d u rr e i n una m a ggi o r e a u t o n o m i a , c h e è m o l t o a pp r e zz a t a d a g l i u tenti d i d i s p o s i t i v i m o b i l i p e r c h é n e s e m p l i f i c a l ’ i m p i e g o . I n o l t r e , l e l i n ee m e t a ll i c h e c o n s e n t o n o d i p o l a r i zz a r e l ’ a tt u a t o r e p i e z o e l e tt r i c o , c h e è p o s t o s u lla m e m b r a n a c o ll e g a t a a l c o r p o d i s u pp o r t o m e d i a n t e e l e m e n t i e l a s t i c i , s e n z a m o d i f i c a r e i n m o d o a pp r e zz a b i l e i l c o m p o r t a m e n t o 10 e l a s t i c o d e lla m e m b r a n a s t e ss a . P i ù p r e c i s a m e n t e , l ’ i m p i e g o d i m e t a ll i i mmu n i a ll ’ o ss i d a z i o n e p e r e s p o s i z i o n e a ll ’ a r i a c o n s e n t e d i f o r m a r e l i n ee m e t a ll i c h e e s p o s t e c h e n o n r i c h i e d o n o s t r u tt u r e d i p a ss i v a z i o n e o, s e d e s i d e r a t o i n a cc o r d o a lle p r e f e r e n z e d i p r o g e tto , d i d o t a r e l e l i n ee m e t a ll i c h e d i r i v e s t i m e n t i p a ss i v a n t i m o l t o s o tti l i almeno s u ll a m e m b r a n a e s u g l i e l e m e n t i e l a s t i c i . I n a l t r e p a r o l e , l ’ a pp o r t o d i m a t e r i a l e s u lla m e m b r a n a p u ò e ss e r e l i m i t a t o s t r e tt a m e n t e a l m e t a llo d e ll e l i n ee s t e ss e , e v i t a n d o s t r u tt u r e s u p e r f l u e c h e i rri g i d i r e bbe r o l a m e m b r a n a e 20 p o t r e bbe r o r i d u rr e l a d i n a m i c a . I n a l t e r n a t i v a , q u a n d o l a d e f o r m a b i l i t à d e ll a m e m b r a n a è c o m u n q u e c o n s i d e r a t a s o dd i s f a c e n t e i n a cc o r d o a lle p r e f e r e n z e d i p r o g e tto , l e l i n ee m e t a lli c h e p o sso n o essere d o t a t e d i s o tti l i r i v e s t i m e n t i , i n p a r t i c o l a r e r i v e s t i m e n t i p a ssi v a n t i , c h e n o n a l t e r a n o i n m o d o s o s t a n z i a l e l e p r e s t a z i o n i d e ll a n m e m b r a n a e d e g l i e l e m e n t i e l a s t i c i . I n o l t r e , p o ss o n o essere u t i l i zz a t i m a t e r i a l i a d a l t i ss i m a c o n d u c i b i l i t à e l e d i m e n s i o n i dell e l i n ee m e t a ll i c h e p o sso n o e ss e r e c o rr i s p o n d e n t e m e n t e r i d o tt e . I n g e n e r a l e , c i ò e v i t a d i i rr i g i d i r e l a m e m b r a n a , a v a n t a gg i o d e l 1 l i v e ll o d i p r e ss i o n e sonora ( p e r 1 t r a s m e tt i t o r i o a tt u a t o r i ) e d e lla s e n s i b i l i t a ( p e r i r i c e v i t o r i o s e n s o r i ) . I n o l t r e , 1 l e 1 l i n ee m e t a ll i c h e p o ss o n o essere a bb a s t a n z a s t r e tt e d a c o rr e r e s u g l i e l e m e n t i e l a s t i c i , s e n z a a l t e r a r n e 10 s i g n i f i c a t i v a m e n t e l e p r o p r i e t a m e cc a n i c h e e s e n z a b i s o g n o d i p o r z i o n i d i m e m b r a n a d e d i c a t e . R is u l t a i n f i n e e v i d e n t e c h e a l t r a s d u tt o r e e l e tt r o a c u s t i c o d e s c r i tt o p o ss o n o essere a pp o r t a t e m o d i f i c h e e v a r i a n t i , s e n z a u s c i r e d a ll ’ a m b i t o d e ll a p r e s e n t e i n v e n z i o n e , c o m e d e f i n i t o nell e r i v e n d i c a z i o n i a lle g a t e . S i i n t e n d e , i n p a r t i c o l a r e , c h e t r a s d u tt o r i e l e tt r o a c u s t i c i s e c o n d o 1 ’ i n v e n z i o n e p o ss o n o e ff i c a c e m e n t e e ss e r e u t i l i zz a t i i n d i s p o s i t i v i diversi dai m i c r o - a l t o p a r l a n t i , c o m e , n o n l i m i t a t i v a m e n t e , m i c r o f o n i e s o n d e 20 p e r 1 i n d a g i n i e c o g r a f i c h e e imaging a w u l t r a s u o n i . P u r c o n s e r v a n d o l a s t e ss a s t r u ttu r a g e n e r a l e , 1 t r a s d u tt o r i e l e tt r o a c u s t i c i p o sso n o operare tanto c o m e t r a s m e tt i t o r i ( p e r e s e m p i o m i c r o - a l t o p a r l a n t i ) , q u a n t o c o m e r i c e v i t o r i ( p e r e s e m p i o m i c r o f o n i ) e , i n alcune a ppl i c a z i o n i , i n m o d o r e v e r s i b i l e s i a c o m e t r a s m e tt i t o r i , s i a c o m e r i c e v i t o r i ( p e r n e s e m p i o , n e ll e s o n d e p e r imaging a u l t r a s u o n i - P M U T ) . Q u e s t o è p o ss i b i l e p e r c h é i t r a s d u tt o r i p i e z o e l e ttr i c i p r e s e n t i s u ll a m e m b r a n a p o sso n o operare c o m e a tt u a t o r i n e i t r a s m e tti t o r i , c o n v e r t e n d o s e g n a l i e l e tt r i c i i n d e f o r m a z i o n i d e ll a m e m b r a n a p e r g e n e r a r e onde a c u s t i c h e , e c o m e s e n s o r i n e i r i c e v i t o r i , c o n v e r t e n d o d e f o r m a z i o n i dell a m e m b r a n a c a u s a t e d a o n d e a c u s t i c h e i n c i d e n t i i n s e g n a l i e l e tt r i c i . n

Claims

. T r a s d u tt o r e e l e ttr o a c u s t i c o m i c r o e l e tt r o m e cc a n i c o c o m p r e n d e n t e : u na c o r n i c e d i s u pp o r t o ( 1 2 ; 11 2 ) , c o n t e n e n t e m a t e r i a l e s e m i c o n d u tt o r e ; u na m e m b r a n a ( 1 3 ; 11 3 ) d i m a t e r i a l e s e m i c o n d u tto r e c o ll e g a t a a lla c o r n i c e d i s u pp o r t o ( 1 2 ; 11 2 ) l u n g o u n p e r i m e t r o ; u n t r a s d u tt o r e p i e z o e l e tt r i c o ( 1 5 ; 11 5 ) s u una p o r z i o n e 10 c e n t r a l e ( 1 3 b ) d e ll a m e m b r a n a ( 1 3 ; 11 3 ) ; i n c u i 11 t r a s d u tt o r e p i l e z o e l e ttr i c o ( 1 5 ; 11 5 ) è c o n f i g u r a t o p e r c a u s a r e una d e f l e ss i o n e a riposo d e ll a m e m b r a n a ( 1 3 ; 113 ) d a una c o n f i g u r a z i o n e p l a n a r e v e r s o u n p r i m o l a t o ( 1 3 d ; 11 3 d ) d e ll a m e m b r a n a ( 1 3 ; 11 3 ) , i n a sse n z a d i s t i m o l i e l e tt r i c i a ll ’ a tt u a t o r e p i e z o e l e tt r i c o ( 1 5 ; 11 5 ) , e p e r c a u s a r e u n a d e f l e ssi o n e i n d o tt a d e ll a m e m b r a n a ( 1 3 ; 11 3 ) o pp o s t a a lla d e f l e ssi o n e a riposo v e r s o u n s e c o n d o l a t o ( 1 3 e ; 11 3 e ) d e ll a m e m b r a n a ( 1 3 ; 11 3 ) i n r i s p o s t a a u n s e g n a l e e l e tt r i c o d i p i l o t a ggi o (Vp) 20 2 . T r a s d u tt o r e e l e ttr o a c u s t i c o s e c o n d o l a r i v e n d i c a z i o n e 1 , i n c u i i l t r a s d u tt o r e piezoelett ri co ( 1 5 ; 11 5 ) e l a m e m b r a n a ( 1 3 ; 11 3 ) f o r m a n o una m e m b r a n a c o m p o s i t a e h a nn o r i s p e tti v i s t a t i d i s t r e ss r e s i d u o del tipo d i c o m p r e ssi o n e . 3 . T r a s d u tt o r e e l e ttr o a c u s t i c o s e c o n d o l a n r i v e n d i c a z i o n e 1 o 2 , i n c u i l ’ a tt u a t o r e p i e z o e l e tt r i c o ( 1 5 ; 11 5 ) è s u l p r i m o l a t o ( 1 3 d ; 113 d ) d e ll a m e m b r a n a ( 1 3 ; 11 3 ) . 4 . T r a s d u tt o r e e l e ttr o a c u s t i c o s e c o n d o una q u a l s i a s i d e ll e r i v e n d i c a z i o n i p r e c e d e n t i , i n c u i l a m e m b r a n a ( 1 3 ; 11 3 ) è d i v i s a i n s e tt o r i ( 1 3 a ; 113 a ) d a f e n d i t u r e r a d i a l i ( 1 8 ; 11 8 ) e s t e n d e n t i s i d a ll a p e r i f e r i a d e ll a m e m b r a n a ( 1 3 ; 11 3 ) f i n o a u n a d i s t a n z a d a u n centro d e ll a m e m b r a n a ( 1 3 ; 113). 5 . T r a s d u tt o r e e l e ttr o a c u s t i c o s e c o n d o l a 10 r i v e n d i c a z i o n e 4 , i n c u i i l t r a s d u tt o r e piezoelett ri co ( 1 5 ; 11 5 ) c o m p r e n d e u n a r e g i o n e a n u l a r e d i a tt u a t o r e ( 1 5 b ; 115 b ) e l o b i ( 1 5 a ; 11 5 a ) e s t e n d e n t i s i i n d i r e z i o n e r a d i a l e d a ll a r e g i o n e a n u l a r e d i a tt u a t o r e ( 1 5 b ; 115 b ) , c i a s c u n o s u u n r i s p e tt i v o s e tt o r e ( 1 3 a ; 113 a ) d e ll a m e m b r a n a ( 1 3 ; 11 3 ) . 6 . T r a s d u tt o r e e l e ttr o a c u s t i c o s e c o n d o l a r i v e n d i c a z i o n e 4 o 5 , c o m p r e n d e n t e e l e m e n t i e l a s t i c i ( 1 7 ; 11 7 ) , d e f i n i t i d a r i s p e tt i v e p o r z i o n i d e ll a m e m b r a n a ( 1 3 ; 11 3 ) , l a m e m b r a n a ( 1 3 ; 11 3 ) e sse n d o c o lle g a t a a lla c o r n i c e d i s u pp o r t o ( 1 2 ; 112 ) m e d i a n t e g l i e l e m e n t i e l a s t i c i ( 1 7 ; 20 11 7 ) ; e li nee me t alliche (30, 35, 36; 130, 135, 136) e s t e n d e n t i s i s u r i s p e tti v i e l e m e n t i e l a s t i c i ( 1 7 ; 11 7 ) s u lla m e m b r a n a ( 1 3 ; 113 ) d a i r i s p e tt i v i e l e m e n t i e l a s t i c i ( 1 7 ; 11 7 ) a l t r a s d u tt o r e p i e z o e l e tt r i c o ( 1 5 ; 11 5 ) . 7 . T r a s d u tt o r e e l e ttr o a c u s t i c o s e c o n d o l a n r i v e n d i c a z i o n e 6 , i n c u i l e l i n ee m e t a ll i c h e ( 3 0 , 3 5 , 3 6 ; 1 3 0 , 1 3 5 , 1 3 6 ) s o n o d i u n m e t a ll o immune a ll’ o ssi d a z i o n e p e r e s p o s i z i o n e a ll ’ a t m o s f e r a , p e r e s e m p i o oro o p l a t i n o . 8 . T r a s d u tt o r e e l e ttr o a c u s t i c o s e c o n d o l a r i v e n d i c a z i o n e 6 o 7 , i n c u i l e l i n ee m e t a ll i c h e ( 3 0 , 3 5 , 3 6 ; 1 3 0 , 1 3 5 , 1 3 6 ) s o n o p r i v e d i r i v e s t i m e n t o e sono e s p o s t e s u ll a m e m b r a n a ( 1 3 ; 113 ) e s u g l i e l e m e n t i e l a s t i c i ( 1 7 ; 11 7 ) . 9 . T r a s d u tt o r e e l e ttr o a c u s t i c o s e c o n d o una q u a l s i a s i d e ll e r i v e n d i c a z i o n i d a 6 a 8 , i n c u i 11 t r a s d u tt o r e 10 p i e z o e l e tt r i c o ( 1 5 ; 115 ) c o m p r e n d e u n e l e tt r o d o i n f e r i o r e ( 1 5 c ) , u n c o r p o p i e z o e l e tt r i c o ( 1 5 d ) s u ll’ e l e ttr o d o i n f e r i o r e ( 1 5 c ) e u n e l e ttr o d o s u p e r i o r e ( 1 l 5 e ) s u l c o r p o p i e z o e l e tt r i c o ( 1 5 d ) e i n c u i l e l i n ee m e t a ll i c h e ( 3 0 , 3 5 , 3 6 ) c o m p r e n d o n o u n a p r i m a l i n e a m e t a ll i c a ( 3 0 ) c o ll e g a n t e l ' e l e tt r o d o superiore ( 1 5 e ) a una p r i m a p i a zzo l a ( 2 5 ) s u lla c o r n i c e d i s u pp o r t o ( 1 2 ) e una s e c o n d a l i n e a m e t a ll i c a ( 3 5 ) c o ll e g a n t e l ’ e l e tt r o d o i n f e r i o r e ( 1 5 c ) a u n a s e c o n d a p i a zz o l a ( 2 6 ) s u ll a c o r n i c e d i s u pp o r t o ( 1 2 ) . 1 0 . T r a s d u tt o r e e l e ttr o a c u s t i c o s e c o n d o l a 20 r i v e n d i c a z i o n e 9 , i n c u i ciascun s e tto r e ( 1 3 c ; 11 3 a ) c o m p r e n d e u n a c o pp i a d i r i s p e tt i v i e l e m e n t i e l a s t i c i ( 1 7 ; 11 7 ) , d i s p o s t i s i mm e t r i c a m e n t e l ’ u n o a ll ’ a l t r o r i s p e tt o a u n a ss e ( A ) e s t e n d e n t e s i l u n g o una b i s e tt r i c e d e l r i s p e tt i v o s e tt o r e ( 1 3 a ; 113 a ) ; e i n c u i ciascun e l e m e n t o e l a s t i c o ( 1 7 ; 11 7 ) c o m p r e n d e u n a n c o r a gg i o e s t e r n o ( 1 7 a ; 117 a ) , f i ssa t o n a ll a c o r n i c e d i s u pp o r t o ( 1 2 ; 11 2 ) , u n a n c o r a gg i o i n t e r n o ( 1 7 b ; 117 b ) , c o ll e g a t o a lla p o r z i o n e c e n t r a l e ( 1 3 b ; 113 b ) d e ll a m e m b r a n a ( 1 3 ; 11 3 ) , b r a cci e s t e r n i ( 1 7 c ; 117 c ) e s t e n d e n t i s i i n direzioni opp oste d a ll’ a n c o r a ggi o e s t e r n o e b r a cc i i n t e r n i ( 1 7 d ; 11 7 d ) e s t e n d e n t i s i i n d i r e z i o n i opp oste d a ll ’ a n c o r a gg i o i n t e r n o ( 1 7 b ; 117 b ) . 11 . T r a s d u tt o r e e l e ttr o a c u s t i c o s e c o n d o l a r i v e n d i c a z i o n e 10, i n cui l i n ciascun e l e m e n t o e l a s t i c o ( 1 7 ; 11 7 ) i b r a cc i e s t e r n i ( 1 7 c ; 117 c ) e i b r a cci i n t e r n i ( 1 7 d ; 10 11 7 d ) s o n o f r a l o r o para lle l i e s o n o c o lle g a t i f r a l o r o , a ll ’ a n c o r a gg i o e s t e r n o ( 1 7 a ; 117 a ) e a ll’ a n c o r a ggi o i n t e r n o ( 1 7 b ; 11 7 b ) i n m o d o d a f o r m a r e u n ’ a s o l a . 1 2 . T r a s d u tt o r e e l e ttr o a c u s t i c o s e c o n d o l a r i v e n d i c a z i o n e 1 0 o 11 , i n c u i l a p r i m a l i n e a m e t a ll i c a ( 3 0 ) e l a s e c o n d a l i n e a m e t a lli c a ( 3 5 ) s i e s t e n d o n o s u r i s p e tt i v i d i s t i n t i s e tt o r i ( 1 3 c ) d e ll a m e m b r a n a ( 1 3 ) e c i a s c u n a s u e n t r a m b i g l i e l e m e n t i e l a s t i c i ( 1 7 ) del r i s p e tt i v o s e tto r e (13a) . 1 3 . T r a s d u tt o r e e l e ttr o a c u s t i c o s e c o n d o l a 20 r i v e n d i c a z i o n e 1 0 o 11 , i n c u i l a p r i m a l i n e a m e t a ll i c a ( 1 3 0 ) e l a s e c o n d a l i n e a m e t a ll i c a ( 1 3 5 ) s i e s t e n d o n o s u uno stesso d e i s e tt o r i ( 113 a ) d e ll a m e m b r a n a ( 113 ) e c i a s c u n a s u u n r i s p e tt i v o d e g l i e l e m e n t i e l a s t i c i ( 117 ) del s e tt o r e ( 113 a ) . 1 4 . T r a s d u tt o r e e l e ttr o a c u s t i c o s e c o n d o una q u a l s i a s i d e ll e r i v e n d i c a z i o n i d a 9 a 1 3 , i n c u i l e l i n ee m e t a ll i c h e n ( 3 0 , 3 5 , 3 6 ) c o m p r e n d o n o l i n ee m e t a ll i c h e f a s u lle ( 3 6 ; 1 3 6 ) i n c i as c u n s e tt o r e ( 1 3 c ; 113 a ) d e ll a m e m b r a n a ( 1 3 ; 11 3 ) o pp o s t o a u n o d e i s e tt o r i ( 1 3 c ; 113 a ) a llo ggi a n t e l a p r i m a l i n e a m e t a ll i c a ( 3 0 ) e / o l a s e c o n d a l i n e a m e t a ll i c a ( 3 5 ) , i n c u i l e l i n ee m e t a ll i c h e ( 3 0 , 3 5 , 3 6 ) s i e s t e n d o n o al meno s u ll ’ e l e m e n t o e l a s t i c o ( 1 7 ; 11 7 ) del r i s p e tt i v o sett ore ( 1 3 c ; 11 3 a ) d e ll a m e m b r a n a ( 1 3 ; 11 3 ) e f i n o a ll ’ a tt u a t o r e p i e z o e l e tt r i c o ( 1 5 ; 115 ) e i n c u i l e l i n ee m e t a ll i c h e ( 3 0 , 3 5 , 3 6 ) s o n o e l e tt r i c a m e n t e i s o l a t e d a ll’ a ttu a t o r e 10 p i e z o e l e tt r i c o ( 1 5 ; 115 ) . 1 5 . T r a s d u tt o r e e l e ttr o a c u s t i c o s e c o n d o u n a q u a l s i a s i d e ll e r i v e n d i c a z i o n i p r e c e d e n t i , i n c u i l a m e m b r a n a ( 1 3 ; 11 3 ) h a s i mm e t r i a r o t a z i o n a l e d i o r d i n e N , N e ss e n d o u n n u m e r o i n t e r o . n