フローセンサ
JP2026119558APending Publication Date: 2026-07-17MITSUMI ELECTRIC CO LTD
Patent Information
- Authority / Receiving Office
- JP · JP
- Patent Type
- Applications
- Current Assignee / Owner
- MITSUMI ELECTRIC CO LTD
- Filing Date
- 2025-01-07
- Publication Date
- 2026-07-17
Smart Images
Figure 2026119558000001_ABST
Abstract
検出精度の向上を図ること。【解決手段】フローセンサ100は、薄膜部120を有する半導体基板110と、薄膜部120に形成され、第1方向に延びるヒータ10と、ヒータ10から所定距離をおいて第1方向に交差する第2方向に、ヒータ10を挟むように配置された第1サーモパイル21及び第2サーモパイル22と、第1サーモパイル21に接続された第1配線と、第2サーモパイルに接続された第2配線と、を備え、第1配線及び第2配線のうちの一方の配線は、本体部分と、本体部分とは異なる配線層に形成された第3配線を含む第1ジャンパとを有し、第1配線及び第2配線のうちの他方の配線は、第1配線の抵抗値と第2配線の抵抗値とが等しくなるように形成された抵抗部333を有する。
Need to check novelty before this filing date? Find Prior Art