ウエハ全体を対象とする全面検査を行うウエハ検査装置及びプローブ装置

JP3256678UActive Publication Date: 2026-07-17CHROMA ATE INC
View PDF 0 Cites 0 Cited by

Patent Information

Authority / Receiving Office
JP · JP
Patent Type
Utility models
Current Assignee / Owner
CHROMA ATE INC
Filing Date
2026-05-22
Publication Date
2026-07-17

AI Technical Summary

Benefits of technology

【0018】 したがって、プローブ装置のハウジングの吸気部により、被検査ウエハの被検査領域周辺に吸引力を付与することで、プロービング工程においてプローブモジュールが被検査ウエハに付与する軸方向の接触力と拮抗して釣合い効果を奏し得る。これにより、プロービング工程の実行時、ハウジングの検査口により画定される検査領域の当該位置において、ウエハをより強固に保持でき、良好な位置決め効果を奏するとともに、検査時のプローブモジュールの安定性を向上させ、測定誤差を抑制できる。

✦ Generated by Eureka AI based on patent content.

Smart Images

  • Figure 0003256678000001_ABST
    Figure 0003256678000001_ABST
Patent Text Reader

Abstract

ウエハ全体を対象とする全面検査を行うためのプローブ装置及びプローブ装置を含むウエハ検査装置を提供する。【解決手段】プローブ装置100は、ハウジング110と、プローブモジュール120とを備える。ハウジングは、検査口112及びチャンバ111を画定し、第1流路115と、検査口の周囲に設けられた吸気部113とも備える。ハウジングは、吸気部に連通する第1流路を介して外部排気源に連通する。プローブモジュールは、軸方向の接触力を付与し、ハウジングは軸方向の接触力がウエハに及ぼす影響を低減する吸引力をウエハに付与する。これにより、高信頼性のウエハ検査装置及びプローブ装置が提供される。
Need to check novelty before this filing date? Find Prior Art