A green phthalocyanine dye molecule for asymmetric photoresist and a synthesis method thereof

Abstract

本发明公开了一种非对称光刻胶用绿色酞菁染料及其合成方法，包括如下步骤：（1）在催化剂的作用下，利用羟基化合物进攻芳香环进行SNAr反应，经后处理得到中间体P1；（2）在催化剂的作用下，利用羟基化合物进攻芳香环进行SNAr反应，经后处理得到中间体P2；（3）酞菁染料的制备：利用中间体P2、金属盐、高沸点醇为原料，并在催化剂的活化条件下进行反应，经后处理得到酞菁P3。本发明提供了一种非对称光刻胶用绿色酞菁染料，该酞菁染料分子可以与其他着色剂混合配制成绿色光刻胶色浆，其以酞菁为母体结构，通过引入非对称取代基来降低染料聚集度，引入卤素原子、烷氧羰基等来提高染料溶解度，并且其具有优异的光、热稳定性。

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