A substrate container having a gas diffusion device for introducing fluid.
JP2026105036APending Publication Date: 2026-06-25CHUNG KING ENTERPRISE CO LTD
Patent Information
- Authority / Receiving Office
- JP · JP
- Patent Type
- Applications
- Current Assignee / Owner
- CHUNG KING ENTERPRISE CO LTD
- Filing Date
- 2026-04-20
- Publication Date
- 2026-06-25
AI Technical Summary
Benefits of technology
【0010】 本発明の流体を進入させる気体拡散装置を有する基板容器において、筐体手段の保持アセンブリの各サイドアームと気体拡散装置の保持フレームのフレームボディとの対応関係、そして筐体手段の気体進入孔と保持フレームの接続部との対応関係により、気体拡散装置は、筐体手段に安定に装着されることが実現される上、気体拡散装置の装着及び取り外しの利便性が向上される。この他、筐体手段の保持アセンブリの第1の係合部材と気体拡散装置の保持フレームの第2の係合部材との対応、そして筐体手段の気体進入孔及び保持フレーム3接続部との対応により、気体拡散装置は、筐体手段に安定に装着されることが実現される上、気体拡散装置の装着及び取り外しの利便性が向上される。さらに、各凹陥溝と、各気体進入孔と、各外蓋と、各気体導入孔と、各気体導入バルブモジュールと、各チャンバーが筐体ボトム壁内に位置することが可能となるので、装着の複雑さが軽減され、気密性の安定性を向上して使用寿命の延長するようになる上、底板(図示せず)を配置しなくても各チャンバーが画成されるので、基板容器の体積を小さくすることができると共に、基板容器の製造コストも節約できる。
✦ Generated by Eureka AI based on patent content.
Smart Images
Figure 2026105036000001_ABST
Abstract
To provide a substrate container having a gas diffusion device for introducing a fluid, the gas diffusion device being stably mounted to the housing means. [Solution] The substrate container 100 has a housing body 1 and a housing means 10 having at least one retaining assembly and at least one gas diffusion device 20. The housing body 1 has a connecting wall 12 and defines a housing space 14 having a front opening 141. The retaining assembly is positioned on the connecting wall 12 of the housing body 1 so as to be located within the housing space 14, and the retaining assembly has two side arms. The gas diffusion device 20 positioned in the housing space 14 has a retaining frame, and the retaining frame has a frame body held by each side arm and a connecting part that connects to a gas inlet hole. Each gas diffusion device 20 is stably mounted on the housing means 10 by each side arm, each frame body, each connecting part and each gas inlet hole.
Need to check novelty before this filing date? Find Prior Art